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MFC流量控制器A

簡要描述:HORIBA STEC專注于質量流量控制器的研究開發,服務于近乎藝術級的半導體制程,并持續不斷地制造各類產品,滿足用戶的各種需求。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2021-03-15
  • 訪  問  量:1555

詳細介紹

HORIBA質量流量控制器 HORIBA STEC專注于質量流量控制器的研究開發,服務于近乎藝術級的半導體制程,并持續不斷地制造各類產品,滿足用戶的各種需求。

多種配置選擇,通信模式可選擇數字/模擬,DeviceNet, CC-Link,PROFIBUS.

兩種氣體管路接口到接口之間的尺寸規格供選擇:124 mm-106mm- W系列)

氣體流量控制范圍擴大到從10 SCCM200 SLM。SEC-N100系列適用于各種需要氣體控制方面的應用。

特點:

高精度  高設定信號點精度

MFC的線性由多條近似曲線進行補償。這樣能確保在所有流量控制范圍內的高精度。為了改進針對實際氣體的精度,HORIBA STEC使用標準氣體測量系統測試各種制程中使用的氣體并取得測試數據。

精度:±1.0% S.P. : 30-100% F.S. ±0.3% F.S. : W30%F.S.

全流量范圍的高速相應  

新的可變PID算法:1秒高速響應。SEC-N100具有新研發的“可變PID系統",能在1秒內對任何信號設定點進行響應??勺?PID根據設定流量點位不斷修正計算,這樣當用戶改變滿量程和氣體種類時PID參數能得到優化。

多氣體,多量程的解決方案

附加的軟件可以讓用戶很容易地改變使用規格

新的多氣體,多量程系統使在用戶端自由改變氣體種類和使用量程范圍成為可能。

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